MEMS es la abreviatura de micro-motor system. El tamaño de miniaturización individual del producto terminado está en el nivel de milímetros o incluso micrones. Es ampliamente utilizado en comunicaciones 5G, monitoreo de seguridad, automatización industrial, electrónica automotriz y otros campos. En esta etapa, se puede decir que casi todos los productos electrónicos se aplican a MEMS.
Ventajas del dispositivo MEMS: tamaño pequeño, peso ligero, fácil integración, bajo consumo de energía, alta sensibilidad y muchas otras ventajas. Y puede producirse en masa. Aunque puede producirse en masa, el embalaje MEMS no es universal. Según los diferentes tipos funcionales de componentes MEMS, la estructura del componente y los métodos de empaquetado son diferentes, y el tipo dedicado es mayor.
La tecnología de ensamblaje a nivel de chip se usa comúnmente en esta etapa. Naturalmente, existen requisitos bastante estrictos sobre la precisión del ensamblaje, el entorno operativo y los métodos de alineación.
Dificultades del ensamblaje a nivel de chip MEMS
1. Estándar de alta precisión de envasado
El software del sistema MEMS incluye una interfaz de señal de datos única, carcasa, pared interior y otras estructuras, que aumentan la dificultad de control de posición y ángulo durante la selección y la colocación durante todo el proceso de unión de cables de componentes MEMS y sustratos multifuncionales.
2. El material es frágil y se rompe fácilmente.
Los dispositivos MEMS, como microacelerómetros, micro-motores, etc., generalmente tienen estructuras mecánicas como cavidades o voladizos incorporados. Estas estructuras son de tamaño pequeño y tienen una resistencia mecánica mucho menor que los chips IC. Son muy vulnerables al contacto físico durante el montaje y otros procesos.
Muchas partes del dispositivo MEMS no solo son de tamaño pequeño, sino también frágiles y frágiles, como ranuras y sectores profundos, por lo que la presión de trabajo aplicada durante la unión es muy importante. Si la presión de trabajo es demasiado pequeña, la conexión no estará cerrada; si la presión de trabajo es demasiado alta, los componentes se dañarán.
Se puede ver que los niveles de precisión precisos y las amplitudes de enlace son condiciones necesarias para mejorar la tasa de aprobación de la instalación del transceptor de radiofrecuencia MEMS.
Cuando el grosor del dispositivo MEMS está entre 50-150 μm, la presión de trabajo de unión del cable seleccionada está entre 50-100 gy el desplazamiento de rotación debe ser inferior a 0,3 °, de modo que el daño a los componentes se puede reducir en gran medida , y se puede mejorar el cumplimiento. Índice.
Alineación de alta precisión, tipo parche, para garantizar la tasa de aprobación
Retroalimentación a nivel de micrones para obtener información de datos precisa, precisión de control de fuerza ± 0.01N, nivel de precisión de repetibilidad lineal ± 2μm, nivel de precisión de repetibilidad de rotación ± 0.01 °, deflexión radial menor a 10μm, especificación de resolución del codificador 1μm, disponible en salida estable incluso bajo alta -Operación de velocidad, mejorando la tasa de calificación y la estabilidad.
Succión al vacío, presión de trabajo controlable, reduce el consumo.
El motor rotativo lineal Guoao adopta un diseño de eje Z hueco, toma traqueal reservada, succión por vacío, plug and play, y puede proporcionar servicios personalizados basados en la estructura y características de los componentes;
Contiene un" aterrizaje suave" función, que puede completar el control de fuerza estable dentro de ± 1.5g, y puede personalizar parámetros como velocidad, aceleración y control de fuerza, de modo que el cabezal de colocación pueda tocar los componentes MEMS con una presión de trabajo muy precisa, reduciendo el agotamiento.
& quot; Z + R" diseño integrado del eje para aumentar la velocidad
La innovadora solución integrada de dos ejes combina el tradicional" servomotor + husillo de bolas" en uno, que puede manejar bien el problema de la carga de peso propio del eje Z, y el componente completo Pick& Colocación, colocación y otras acciones a gran velocidad y precisión. Empuje La curva es suave, el empuje máximo es de 8-50 N, la carrera efectiva es de 10-50 mm y el ciclo de vida ultra alto permite una producción eficiente.
